質量流量控制器采用毛細管傳熱溫差熱法原理檢測氣體質量流量，傳感器受熱橋測得的總流量訊號送至放大器調大。將調大后的流量檢測電壓與設置電壓進行較為，并且調大差分信號調節調節閥。通過通道的閉環控制流使其設置相等的總流量，分流器取決于主通道中的總流量。當所需調節總流量時，就所需這個控制器。如相對于毛細管總流量的檢測，在恒壓下檢測總流量時，采用質量流量計。

 

　　質量流量控制器可用于輕工、石油、化工、電子、電力、食品和紡織等工業部門的空氣、可燃性氣體、烴類氣體、煙道氣等氣體的質量流量或實際工況的體積流量測量和監控。